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專用于編輯MEMS版圖的設計工具。 ◆ 多層版圖編輯功能; ◆ 可對版圖進行布爾運算; ◆ 形狀和拓撲學的完美結合; ◆ 自動生成最優的器件結構版圖; ◆ 能讀取BMP,JPG,PNG等圖片格式的文件; ◆ 能通過已有層按照一定的規則自動產生一系列新的單元至指定層; ◆ 對頂點數過多的多邊形進行自動簡化與切割; ◆ 能夠繪制橢圓、弧形、不規則曲邊和正弦曲線等復雜版圖; ◆ 參數腳本編輯功能:改變器件參數,可以快捷、方便地修改器件結構,大大縮短設計時間; ◆ 修改或創建新的參數腳本; ◆ 使用基于單元的VBS腳本創建復雜版圖; ◆ 完整的GDSII文件轉化功能; ◆ 兼容業界主流文件格式GDSII,MSK,DXF; ◆ 支持DESIGN RULE CHECK; ◆ 支持對版圖進行各種布爾操作,可以很方便地創建復雜的結構; ◆ 完全支持CELL層狀結構; ◆ 三維結構的工藝過程預覽; ◆ 提供 Measurement and dimensioning tools,可以很方便地對版圖進行標注。
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互動式編輯器件三維模型的強大工具。 ◆ 直角坐標和極坐標格點輔助創建器件的最優化模型; ◆ 對齊網格或對齊點(包括中點、交點和分割點等); ◆ 輸入版圖(GDS,DXF或VEC格式)優化模型; ◆ 對指定部分進行網格細分,如蛛網式、拉鏈式和發散式等; ◆ 兼容ANSYS、ABAQUS、PATRAN、I-DEAS格式; ◆ 能求解大規模矩陣; ◆ 方便地修改結構厚度和間隙; ◆ 自動驗證網格質量與正確性; ◆ 由二維版圖直接生成模型并劃分成六面體網格; ◆ 自動校正不連通的網格(網格數量較少的情況下); ◆ 建立斜面網格。
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